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gentec 捷锐R21系列 产品的结构特性
R21 结 构 特 点
单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封形式
母体接口螺纹：1/4” NPT (F)
安全压力：1.5 倍的较大输入压力
适用温度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值：0.14
重量：0.9 kg (2.0 lbs)
R21 材 质
母体：铜电镀，316L
阀座：PCTFE，PTFE，Vespel
膜片：316L，Hastelloy
R21 适 用 范 围
半导体制程
实验室
气相分析
测试仪表
石油化学工业
电厂设备
